​腔內循環確保老化板上運行中的顆粒表麵積溫度與腔體溫度＜±5℃  (芯片溫度以芯片本身傳感器采集溫度 為參考)

4.1.8  升溫時間：  常溫~125℃  ≤20min；

4.1.9  水冷式恒溫、降溫，  恒溫大功率 BI 產品，  降溫迅速，  20 分鍾內 125 度降至 60 度。

(需要接入廠務水)  。

4.1.10  水流量每小時：  1.3t/h